کلین رومز کے آپریشن میں نمی ماحولیاتی کنٹرول کی ایک عام حالت ہے۔ سیمی کنڈکٹر کلین روم میں رشتہ دار نمی کی ٹارگٹ ویلیو کو 30 سے 50% کی حد میں کنٹرول کیا جاتا ہے، جس سے خرابی ±1% کی تنگ رینج کے اندر ہوتی ہے، جیسے فوٹو لیتھوگرافک ایریا – یا اس سے بھی کم فاصل الٹرا وائلٹ پروسیسنگ (DUV) ایریا میں۔ - دوسری جگہوں پر، آپ ±5% کے اندر آرام کر سکتے ہیں۔
کیونکہ نسبتاً نمی میں بہت سے عوامل ہوتے ہیں جو صاف کمرے کی مجموعی کارکردگی میں حصہ ڈال سکتے ہیں، بشمول:
● بیکٹیریا کی افزائش؛
● آرام کی حد جو عملہ کمرے کے درجہ حرارت پر محسوس کرتا ہے۔
● جامد چارج ظاہر ہوتا ہے؛
● دھاتی سنکنرن؛
● پانی کے بخارات کی گاڑھا ہونا؛
● لیتھوگرافی کا انحطاط؛
● پانی جذب۔
بیکٹیریا اور دیگر حیاتیاتی آلودگی (مولڈ، وائرس، فنگس، مائٹس) 60% سے زیادہ نسبتاً نمی والے ماحول میں فعال طور پر بڑھ سکتے ہیں۔ جب رشتہ دار نمی 30% سے زیادہ ہو تو کچھ نباتات بڑھ سکتے ہیں۔ جب رشتہ دار نمی 40% اور 60% کے درمیان ہو تو بیکٹیریا اور سانس کے انفیکشن کے اثرات کو کم کیا جا سکتا ہے۔
40% سے 60% کی حد میں رشتہ دار نمی بھی ایک معمولی حد ہے جس میں انسان آرام دہ محسوس کرتے ہیں۔ ضرورت سے زیادہ نمی لوگوں کو افسردہ کر سکتی ہے، جب کہ 30% سے کم نمی لوگوں کو خشک، پھٹی ہوئی، سانس کی تکلیف اور جذباتی تکلیف کا احساس دلا سکتی ہے۔
زیادہ نمی دراصل صاف کمرے کی سطح پر جامد چارج کے جمع ہونے کو کم کرتی ہے – یہ مطلوبہ نتیجہ ہے۔ کم نمی چارج جمع کرنے کے لیے زیادہ موزوں ہے اور الیکٹرو سٹیٹک ڈسچارج کا ممکنہ طور پر نقصان دہ ذریعہ ہے۔ جب رشتہ دار نمی 50% سے زیادہ ہو جاتی ہے، تو جامد چارج تیزی سے ختم ہونا شروع ہو جاتا ہے، لیکن جب نسبتاً نمی 30% سے کم ہو، تو وہ انسولیٹر یا غیر زمینی سطح پر طویل عرصے تک برقرار رہ سکتی ہے۔
35% اور 40% کے درمیان نسبتاً نمی ایک تسلی بخش سمجھوتہ ہو سکتی ہے، اور سیمی کنڈکٹر کلین روم عام طور پر جامد چارج کے جمع ہونے کو محدود کرنے کے لیے اضافی کنٹرول استعمال کرتے ہیں۔
نسبتاً نمی بڑھنے کے ساتھ ہی سنکنرن کے عمل سمیت کئی کیمیائی رد عمل کی رفتار بڑھ جائے گی۔ صاف کمرے کے آس پاس کی ہوا کے سامنے آنے والی تمام سطحوں کو تیزی سے کم از کم ایک monolayer پانی سے ڈھانپ دیا جاتا ہے۔ جب یہ سطحیں ایک پتلی دھاتی کوٹنگ پر مشتمل ہوتی ہیں جو پانی کے ساتھ رد عمل ظاہر کر سکتی ہیں، تو زیادہ نمی ردعمل کو تیز کر سکتی ہے۔ خوش قسمتی سے، کچھ دھاتیں، جیسے ایلومینیم، پانی کے ساتھ حفاظتی آکسائیڈ بنا سکتی ہیں اور مزید آکسیکرن رد عمل کو روک سکتی ہیں۔ لیکن ایک اور معاملہ، جیسے کاپر آکسائیڈ، حفاظتی نہیں ہے، لہذا زیادہ نمی والے ماحول میں، تانبے کی سطحیں سنکنرن کے لیے زیادہ حساس ہوتی ہیں۔
اس کے علاوہ، اعلی رشتہ دار نمی والے ماحول میں، فوٹو ریزسٹ نمی کو جذب کرنے کی وجہ سے بیکنگ سائیکل کے بعد بڑھا اور بڑھ جاتا ہے۔ Photoresist آسنجن بھی زیادہ رشتہ دار نمی سے منفی طور پر متاثر ہو سکتا ہے؛ کم رشتہ دار نمی (تقریباً 30%) فوٹو ریزسٹ آسنجن کو آسان بناتی ہے، یہاں تک کہ پولیمرک موڈیفائر کی ضرورت کے بغیر۔
سیمی کنڈکٹر صاف کمرے میں رشتہ دار نمی کو کنٹرول کرنا صوابدیدی نہیں ہے۔ تاہم، جیسے جیسے وقت بدلتا ہے، عام، عام طور پر قبول شدہ طریقوں کی وجوہات اور بنیادوں کا جائزہ لینا بہتر ہے۔
نمی ہمارے انسانی سکون کے لیے خاص طور پر قابل توجہ نہیں ہو سکتی ہے، لیکن یہ اکثر پیداواری عمل پر بہت زیادہ اثر ڈالتی ہے، خاص طور پر جہاں نمی زیادہ ہوتی ہے، اور نمی اکثر بدترین کنٹرول ہوتی ہے، یہی وجہ ہے کہ صاف کمرے کے درجہ حرارت اور نمی کے کنٹرول میں، نمی کو ترجیح دی جاتی ہے۔
پوسٹ ٹائم: ستمبر 01-2020